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东莞市未都来环保科技有限公司

专注抛光皮研磨材料及化学表面处理产品研发生产

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抛光皮有什么用?

来源:东莞市未都来环保科技有限公司   发布时间:2018-08-24   点击量:417

抛光垫又称抛光皮,抛光布,抛光片,化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。


抛光皮有什么用?

分类

按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫; 按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫; 按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型。

作用

1.把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;

2.将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;

3.维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;

4.保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌;

影响因素

1.硬度-抛光垫的硬度决定保持面形精度的能力;

2.压缩比-压缩比反应抛光垫的抗变形能力;

3.涵养量-抛光垫的涵养量是单位体积的抛光垫存储抛光液的质量;

4.粗糙度-表面粗糙度是抛光垫表面的凸凹不平程度,;

5.密度-密度是抛光垫材料的致密程度;抛光皮

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